Презентация «Расчет траекторных пробегов ионов в твердом теле и распределение внедренных ионов по глубине образца»

Смотреть слайды в полном размере
Презентация «Расчет траекторных пробегов ионов в твердом теле и распределение внедренных ионов по глубине образца»

Вы можете ознакомиться с презентацией онлайн, просмотреть текст и слайды к ней, а также, в случае, если она вам подходит - скачать файл для редактирования или печати. Документ содержит 19 слайдов и доступен в формате ppt. Размер файла: 272.50 KB

Просмотреть и скачать

Pic.1
Лекция 6 Слайд 1 Темы лекции Расчет траекторных пробегов ионов в твердом теле и распределение внедре
Лекция 6 Слайд 1 Темы лекции Расчет траекторных пробегов ионов в твердом теле и распределение внедренных ионов по глубине образца . Коэффициент отражения и зарядовый состав отраженных ионов .
Pic.2
Лекция 6 Слайд 2 Под пробегом будем понимать путь, который проходит ион в твердом теле до полной ост
Лекция 6 Слайд 2 Под пробегом будем понимать путь, который проходит ион в твердом теле до полной остановки. Перед входом в образец все ионы имеют одинаковую энергию Е0 (моноэнергетический пучок). Так …
Pic.3
Лекция 6 Слайд 3 Сделаем предположение, что распределение ионов по длинам пробега является Гауссовым
Лекция 6 Слайд 3 Сделаем предположение, что распределение ионов по длинам пробега является Гауссовым распределением – средний траекторный пробег – среднеквадратичное отклонение траекторных пробегов …
Pic.4
Лекция 6 Слайд 4 Рассмотрим на входе иона в твердое тело участок его траектории R такой малый, что
Лекция 6 Слайд 4 Рассмотрим на входе иона в твердое тело участок его траектории R такой малый, что на нем происходит только одно взаимодействие с атомом твердого тела. Вероятность того, что на этом …
Pic.5
Лекция 6 Слайд 5 Чтобы учесть различные возможности передачи энергии необходимо проинтегрировать по
Лекция 6 Слайд 5 Чтобы учесть различные возможности передачи энергии необходимо проинтегрировать по dne. Поэтому вероятность того, что в слое R произойдет взаимодействие равна Вероятность, что в …
Pic.6
Лекция 6 Слайд 6 При R  0 получим основное уравнение для функции распределения Р Нахождение точног
Лекция 6 Слайд 6 При R  0 получим основное уравнение для функции распределения Р Нахождение точного решения этого уравнения очень сложная задача, поэтому функцию P(R, E0) обычно определяют с …
Pic.7
Лекция 6 Слайд 7 Умножим обе части основного уравнения на Rm и проинтегрируем по R от 0 до  левую ч
Лекция 6 Слайд 7 Умножим обе части основного уравнения на Rm и проинтегрируем по R от 0 до  левую часть интегрируем по частям правую часть – заменой порядка интегрирования
Pic.8
Лекция 6 Слайд 8 Получаем рекуррентное соотношение для начальных моментов При m = 1 Разность в квадр
Лекция 6 Слайд 8 Получаем рекуррентное соотношение для начальных моментов При m = 1 Разность в квадратных скобках разложим в ряд относительно Е0 по порядку малости Tn + Te и в первом приближении …
Pic.9
Лекция 6 Слайд 9 Окончательно Используем известное из теории вероятностей соотношение - средний квад
Лекция 6 Слайд 9 Окончательно Используем известное из теории вероятностей соотношение - средний квадрат траекторного пробега Из рекуррентного соотношения (6. 3) для m = 2 вычтем , умноженное на
Pic.10
Лекция 6 Слайд 10 Прибавим к обеим частям после перегруппировки получим Так как , то последнее выраж
Лекция 6 Слайд 10 Прибавим к обеим частям после перегруппировки получим Так как , то последнее выражение Опять разложим выражения в квадратных скобках в правой и левой части в ряд по Tn + Te …
Pic.11
Лекция 6 Слайд 11 Введя обозначение и используя Так как , то Окончательно, опять таки в первом прибл
Лекция 6 Слайд 11 Введя обозначение и используя Так как , то Окончательно, опять таки в первом приближении
Pic.12
Лекция 6 Слайд 12 Экранированный кулоновский потенциал dE/dl = –4an0Z1Z2e2M1s()/(M1 + M2), где s(
Лекция 6 Слайд 12 Экранированный кулоновский потенциал dE/dl = –4an0Z1Z2e2M1s()/(M1 + M2), где s() = sn() + se(), dE = dZ1Z2e2(M1 + M2)/aM2 средний траекторный пробег можно записать в виде где …
Pic.13
Лекция 6 Слайд 13 Связь безразмерного траекторного пробега с размерным траекторным пробегом Чтобы по
Лекция 6 Слайд 13 Связь безразмерного траекторного пробега с размерным траекторным пробегом Чтобы получить в Å необходимо n0 брать в атом/Å3. Если для sn() воспользоваться аппроксимацией Юдина и …
Pic.14
Лекция 6 Слайд 14 При ионном облучении обычно интерес представляет не сам траекторный пробег, а прое
Лекция 6 Слайд 14 При ионном облучении обычно интерес представляет не сам траекторный пробег, а проективный (проецированный) пробег Rр, величина которого совпадает с проекцией траекторного пробега на …
Pic.15
Лекция 6 Слайд 15 Если считать, что функция распределения проективных пробегов ионов – гауссова
Лекция 6 Слайд 15 Если считать, что функция распределения проективных пробегов ионов – гауссова
Pic.16
Лекция 6 Слайд 16 Если флюенс облучения (число ионов попавших на единицу площади образца за время об
Лекция 6 Слайд 16 Если флюенс облучения (число ионов попавших на единицу площади образца за время облучения [ион/см2]) равен F, то концентрация имплантированных ионов по глубине образца ni(z) …
Pic.17
Лекция 6 Слайд 17 Второй интеграл формально описывает отраженные ионы, если считать, что коэффициент
Лекция 6 Слайд 17 Второй интеграл формально описывает отраженные ионы, если считать, что коэффициент отражения  1, то для получаем Окончательно Концентрация имплантированных ионов спадает в 2; 10 и …
Pic.18
Лекция 6 Слайд 18 Интегральной характеристикой, описывающей процесс отражения, является коэффициент
Лекция 6 Слайд 18 Интегральной характеристикой, описывающей процесс отражения, является коэффициент отражения где Nотр – все отраженные ионы с любыми энергиями и в любом зарядовом состоянии, …
Pic.19
Лекция 6 Слайд 19 Отраженные ионы могут иметь разный зарядовый состав: однократно и многократно заря
Лекция 6 Слайд 19 Отраженные ионы могут иметь разный зарядовый состав: однократно и многократно заряженные положительные и отрицательные ионы; нейтральные атомы, в том числе в возбужденном состоянии …


Скачать презентацию

Если вам понравился сайт и размещенные на нем материалы, пожалуйста, не забывайте поделиться этой страничкой в социальных сетях и с друзьями! Спасибо!