Слайды и текст доклада
Pic.1
Наномеханика Nanomechanics of materials and systems Lecture 13 MEMS and NEMS sensors МЭМС и НЭМС датчики
Pic.2
Дизайн МЭМС и НЭМС Design of MEMS&NEMS Принцип работы Набор элементов системы пассивные датчики актуаторы (приводы) Анализ, расчет, моделирование предельно достижимые параметры погрешности и шумы …
Pic.3
Датчики в различных устройствах МЭМС/НЭМС MEMS&NEMS sensor applications
Pic.4
Термоэлектрический датчик Thermoelectric sensor
Pic.5
Датчик на основе pn-перехода P-N junction temperature sensor
Pic.6
Терморезистивный датчик Thermistor Большой терморезистивный коэффициент (0. 2-0. 3 %/K) Large temperature coefficient of resistance Малая теплоемкость Small thermal capacitance Низкий шум (limit is …
Pic.7
Физические свойства некоторых материалов НЭМС Physical properties of some NEMS materials
Pic.8
Инфракрасные датчики и массивы датчиков Infrared sensors and their arrays
Pic.9
Датчик газового потока Gas flow sensor
Pic.10
Датчик СО - Carbon monoxide sensor
Pic.11
Пьезорезистивный датчик Piezoresistors
Pic.12
Пьезорезистивный датчик давления Piezoresistive pressure sensor
Pic.13
Последовательность производства датчика давления Technological stages of pressure sensor
Pic.14
Миниатюрный абсолютный пьезорезистивный датчик давления. Absolute pressure sensor.
Pic.15
Датчик давления Pressure sensor
Pic.16
Датчик кровяного давления Blood pressure sensor
Pic.17
Высокотемпературный датчик давления High-temperature pressure sensor
Pic.18
Пьезоэлектрический элемент (датчик или привод) Piezoelectric element (sensor or actuator)
Pic.19
Пьезоэлектрические коэффициенты различных материалов Piezoelectric coefficients
Pic.20
Датчики ускорения Acceleration sensor
Pic.21
Требования к датчикам ускорения Requirements to acceleration sensors Accelerometers for airbag crash sensing are rated for a full range of ±50G and a bandwidth of about one kilohertz. Devices for …
Pic.22
Базовая структура датчика ускорения Base structure of acceleration sensor
Pic.23
Пьезорезистивный датчик ускорения Piezoresistive acceleration sensor
Pic.24
Емкостной датчик Capacitor sensor
Pic.25
Емкостной датчик ускорения. Capacitive accelerometer.
Pic.26
Емкостной датчик ускорения – последовательность производства Production of capacitive accelerometer
Pic.27
Емкостной датчик ускорения. Capacitive accelerometer.
Pic.28
Емкостной датчик ускорения, произведенный с помощью DRIE. Capacitive accelerometer using DRIE.
Pic.29
Сравнение пьезорезистивного, емкостного и электромагнитного методов измерения Comparison of different sensing
Скачать презентацию
Если вам понравился сайт и размещенные на нем материалы, пожалуйста, не забывайте поделиться этой страничкой в социальных сетях и с друзьями! Спасибо!